TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
AS 1903-1104 ASM AS GmbH & Co.KG SIPLACE Wafer System
Gewicht 3674kg
Artikelnummer 519781 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
EL 1603-812 eltherm production GmbH Heizmanschette ELPH-Cleanroom
ID 40 mm
 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
EL 1603-812 eltherm production GmbH Heizmanschette ELPH-Cleanroom
ID 100 mm
 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 18kW 100920
74 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177299
95 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177301
95 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AP 1908-1138 APEVA CO., LTD. HEATING SLEAVE APEVA-HS-001
SAP: 100252247
Material number: A2000000233 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
EL 2211-1363 eltherm production GmbH ELPH-Cleanroom ID 100 mm
Herstellungsdatum: KW 41/2022
Farbe: Grau 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 2)
BA 2303-1405 Barkey GmbH & Co. KG Barkey S-line C&G
Herstellungsdatum: 8/2/2023
Chargennummer: 10693 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
FE 0705-402 Festo AG & Co. KG Pneumatikzylinder
MH 1
 		Ausgasung (Anorganik)
Ausgasung (VOC)
EDX Analyse
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 3)
VA 1401-690 VAT Vakuumventile AG Transferventil
Ventil-575654 V1 (Prototyp)
 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 3)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Bellows suction cup (oval) SPOB1f 60x25 SI-55 G1/4-IG (green)
Material code: Silicone SI
Material type: Elastomer 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 3)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Bellows suction cup (round) FGA 14 SI-HD (white)
Material code: Silicone SI-HD
Material type: Elastomer 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 2)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Bellows suction cup (round) SPB4f 30 SI-55 SC080 (green)
Material code: Silicone SI
Material type: Elastomer 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 3)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Bellows suction cup (round) FG 19 HT1-60 N047 (blue)
Material code: HT1
Material type: Elastomer 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Bellows suction cup (round) PFG 6 HT1-60 N004 (blue)
Material code: HT1
Material type: Elastomer 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Wafer gripper SWGm-6S 146x146x65
Material code: PEEK
Material type: Assembly with PEEK suction surface 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Large-area gripper system FX-SW 120x60 N10
Material code: Foam N
Material type: Assembly with foam 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 2)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Large-area gripper system FM-SW 76x22 0.4 P0.9
Material code: Foam P
Material type: Assembly with foam 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 2)
SC 1606-831 J. Schmalz GmbH Spring plunger FSTIm M5-IG A 20

 		Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
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*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

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Tauglich für Einsatz in Reinraumbereichen der Luftreinheitsklasse ... nach ISO 14644-1*

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