TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
MU 0505-327 Murrplastik Systemtechnik GmbH Kabelführungssystem
ESD-MP18.1 025 R38
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 3)
RE 1805-1038 REIKU GmbH Kabelschutzsysteme Wellrohrsystem NW23; System bestehend aus:
Elektrisch leitfähigem Wellrohr: LPRRB-23G; Spannschellen: PASSB-29K;
Gerade Armaturen: VPGRB-23M32; Mittelbacken: PAMBB-23F/G
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 5)
SH 2005-1154 Shanghai Suntone Electronic Co., Ltd CMS-POD 16010920
Batch number: 16010920, Charge number: P205.4.2.R40ACE
Color: White; Manufacturing date: 1/9/2020
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
VA 0907-492 Von Ardenne Anlagentechnik GmbH Kabelführungssystem
Kabelführungssystem für PVD und PECVD Reaktorkammern
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

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Tauglich für Einsatz in Reinraumbereichen der Luftreinheitsklasse ... nach ISO 14644-1*

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