Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Bewegte Achsen 1 - 6 Geschwindigkeit 50 % of max. Traglast 7 kg Achse 1 -157 to 157 ° Achse 2 -110 to 104 ° Achse 3 -135 to 155 ° Achse 4 -200 to 200 ° Achse 5 -105 to 116 ° Achse 6 -360 to 360 ° Pause zwischen den Zyklen 1 s | ISO 14644-1 | / | ISO Class 4 | | Urkunde
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(28-07-26)
Bescheinigung
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(28-07-26)
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Bewegte Achsen 1 - 6 Geschwindigkeit 100 % of max. Traglast 7 kg Achse 1 -157 to 157 ° Achse 2 -110 to 104 ° Achse 3 -135 to 155 ° Achse 4 -200 to 200 ° Achse 5 -105 to 116 ° Achse 6 360 to 360 ° Pause zwischen den Zyklen 1 s | ISO 14644-1 | / | ISO Class 4 | |
ESD-Verhalten (SEMI E78)
| Werkzeuggewicht 0 kg Achse 1 -155 to 155 ° Achse 2 -120 to 38 ° Achse 3 -150 to 150 ° Achse 4 -195 to 195 ° Achse 5 -120 to 120 ° Achse 6 -310 to 355 ° Geschwindigkeit 80 % of max. Betriebszustand on Empfindlichkeitsschwelle 2004 / 90 nm Grenzwert 100 V/cm Mittelwert 44 V/cm Max. gemessener Einzelwert 130 V/cm | SEMI E78-0912 | / | year node 2004 / 90 nm fulfilled | | Urkunde
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(28-07-26)
Bescheinigung
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(28-07-26)
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