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Firma

Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
 
Plattleite 19/29
01324 Dresden

Kontaktperson

Mr. Andreas Heisig
Telefon +49 351 2637 607
E-Mail Heisig.Andreas@vonardenne.biz
Webseite www.vonardenne.biz

Prüfobjekt

Kabelführungssystem
Kabelführungssystem für PVD und PECVD Reaktorkammern
Q-Nr. VA 0907-492
Jahr 2009
Kommentare
Kategorie Kabel­führungssysteme

Untersuchungen und Ergebnisse

Art der Untersuchung Parameter Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse Dokumente
(Gültig bis)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1.0 m/s2
Aufbau horizontal
Neigung 7°
ISO 14644-1 / ISO Class 1
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Urkunde 1 de
Bescheinigung 1 de