| Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente
(Gültig bis) |
| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 2000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau horizontal
ohnecover
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | | US FED 209E | / | US Class 100 | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 2000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau horizontal
Vakuum disabled
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 4 | | US FED 209E | / | US Class 10 | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 2000 mm
Geschwindigkeit 1.0 m/s
Beschleunigung 2 m/s2
Aufbau horizontal
Vakuum active
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | / | | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 2000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau sideways
Vakuum active
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | / | | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 4000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau horizontal
Vakuum active
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | / | | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 1000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau horizontal
Vakuum active
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | / | | | / | | | Urkunde
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| Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Hublänge 2000 mm
Geschwindigkeit 0.5 m/s
Beschleunigung 1 m/s2
Aufbau horizontal
Vakuum active
| | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | / | | | / | | | Urkunde
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