Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Air Cleanliness Class 7 Maximale Geschwindigkeit x-Achse 2,5 m/s Maximale Geschwindigkeit y-Achse 2,5 m/s Maximale Beschleunigung x-Achse 40,0 m/s2 Maximale Beschleunigung y-Achse 30 m/s2 Theoretische Bestückleistung 78640 BE/h Vakuumpumpe active Venturi Betrieb active | | Urkunde
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