| Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Messort: UL6000 Fab
Betriebszustand: Ultra
Pumpe Hipace80 (TMP): 1500 Hz
Pumpe (TMP2): 1167 Hz
Pumpe Neodry36G (Vorpumpe): 175 Hz
Ventil V2a, V2b, V4c, V11: offen
Ventil V5 - V10, V12 - V15: geschlossen
| | ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | | Urkunde
1
en
(16-12-27)
Urkunde
1
de
(16-12-27)
Bescheinigung
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(16-12-27)
Bescheinigung
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(16-12-27)
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