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Firma

INFICON GmbH
 
Bonner Straße 498
50968 Köln

Kontaktperson

Volkhard Mäckel
Telefon +4922156788342
E-Mail volkhard.maeckel@inficon.com
Webseite

Prüfobjekt

UL6000 Fab Plus – Mobiles Vakuumdichtheitsprüfgerät
Herstellungsdatum: 10/2022
Farbe: Hellgrau / Blau
Q-Nr. IN 2211-1364
Jahr 2022
Kommentare Gewicht: 144 kg
Kategorie Messequipment

Untersuchungen und Ergebnisse

Art der Untersuchung Parameter Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse Dokumente
(Gültig bis)
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) Messort: UL6000 Fab Plus
Betriebszustand: Ultra
Pumpe Hipace80 (TMP): 1500 Hz
Pumpe (TMP2): 1167 Hz
Pumpe Neodry36G (Vorpumpe): 175 Hz
Ventil V2a, V2b, V4c, V11: offen
Ventil V5 - V10, V12 - V15: / geschlossen
ISO 14644-1 / ISO Class 5
Urkunde 1 en
(16-12-27)
Urkunde 1 de
(16-12-27)
Bescheinigung 1 de
(16-12-27)
Bescheinigung 1 en
(16-12-27)
Messort: Abluftebene
Betriebszustand:
Pumpe Hipace80 (TMP): Hz
Pumpe (TMP2): Hz
Pumpe Neodry36G (Vorpumpe): Hz
Ventil V2a, V2b, V4c, V11:
Ventil V5 - V10, V12 - V15: /
ISO 14644-1 / ISO Class 5