Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Auslastung: 40 % Traglast: 14 kg Achse 1: -170 ° bis 170 ° ° Achse 2: -90 ° bis 90 ° ° Achse 3: -90 ° bis 90 ° ° Achse 4: -120 ° bis 120 ° ° Achse 5: -170 ° bis 170 ° ° Achse 6: -120 ° bis 120 ° ° Achse 7: -175 ° bis 175 ° ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 2 | | Urkunde
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Auslastung: 80 % Traglast: 14 kg Achse 1: -170 ° bis 170 ° ° Achse 2: -90 ° bis 90 ° ° Achse 3: -90 ° bis 90 ° ° Achse 4: -120 ° bis 120 ° ° Achse 5: -170 ° bis 170 ° ° Achse 6: -120 ° bis 120 ° ° Achse 7: -175 ° bis 175 ° ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 2 | |
ESD-Verhalten (SEMI E78)
| Jahr: 2010 Entwicklungsstufe: 45 nm Grenzwert [V/cm]: 50 Mittelwert [V/cm]: 17 max. Einzelwert [V/cm]: 90 Grenzwert: erfüllt | | Urkunde
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ESD Verhalten (DIN EN 61340-5-1)
| Prüfspannung [V]: 10 gemessener Widerstand [Ω]: < 10^3 Erfüllung des Grenzwertsnach DIN EN 61340-5-1: erfüllt | | Urkunde
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