TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
EL 1603-812 eltherm production GmbH Heizmanschette ELPH-Cleanroom
ID 40 mm
 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
EL 1603-812 eltherm production GmbH Heizmanschette ELPH-Cleanroom
ID 100 mm
 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) (ISO Klasse 1)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 18kW 100920
74 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177299
95 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177301
95 kg
Water 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AP 1908-1138 APEVA CO., LTD. HEATING SLEAVE APEVA-HS-001
SAP: 100252247
Material number: A2000000233 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

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Tauglich für Einsatz in Reinraumbereichen der Luftreinheitsklasse ... nach ISO 14644-1*

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