TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 18kW 100920
74 kg
Water
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177299
95 kg
Water
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177301
95 kg
Water
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AS 1903-1104 ASM AS GmbH & Co.KG SIPLACE Wafer System
Gewicht 3674kg
Artikelnummer 519781
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AP 1908-1138 APEVA CO., LTD. HEATING SLEAVE APEVA-HS-001
SAP: 100252247
Material number: A2000000233
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.