TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177299
95 kg
Water
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1811-1079 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW 177301
95 kg
Water
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 3)
AD 1805-1043 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FAE 36 kW
Heat transfer medium: Water
Weight: 95 kg
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 7)
AD 1805-1043 Advantest Europe GmbH Cooling system E2760 FCS
Heat transfer medium: Water
Weight: 247 kg
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 6)
*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

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Tauglich für Einsatz in Reinraumbereichen der Luftreinheitsklasse ... nach ISO 14644-1*

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