Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Auslastung 40 % Vakuumabsaugung enabled | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 3 | US FED 209E | / | US Class 1 | | / | | | Urkunde
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Auslastung 80 % Vakuumabsaugung enabled | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 3 | US FED 209E | / | US Class 1 | | / | | | Urkunde
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Auslastung 40 % Vakuumabsaugung disabled | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 4 | US FED 209E | / | US Class 10 | | / | | | Urkunde
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Auslastung 80 % Vakuumabsaugung disabled | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 4 | US FED 209E | / | US Class 10 | | / | | | Urkunde
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