Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Shuttlefahrt im Loop, Liftbewegung hinauf/hinab auf der Vertical Axis Cleanroom vertikale Achse an einem Stück Verriegelung teflonbeschichtet Verfahrweg (vertikal) 1540 mm Verfahrweg (Loop) 5400 mm Last 17 kg Geschwindigkeit (Shuttle) 1.5 m/s Beschleunugung (Shuttle) 2.5 m/s² Reinstdruckluft 4 bar Zyklen 2 /min | ISO 14644-1 | / | ISO Class 6 | US FED 209E | / | US Class 1000 | | Urkunde
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Urkunde
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Bescheinigung
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