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Firma

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
 
Auf der Roemerstrasse 1
76228 Karlsruhe

Kontaktperson

Mr. Steffen Arnold
Telefon +49-721-48-46-235
E-Mail S.Arnold@pi.ws
Webseite www.physikinstrumente.de

Prüfobjekt

Theta-Z-Tisch mit 100 µm Piezo
M-900K060
Q-Nr. PI 0208-267
Jahr 2002
Kommentare
Kategorie Transfer­systeme und Lager

Untersuchungen und Ergebnisse

Art der Untersuchung Parameter Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse Dokumente
(Gültig bis)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1) program specified by customer
DIN EN ISO 14644-1 / ISO Class 5
US FED 209E / US Class 100
/
Urkunde 1 de
Bescheinigung 1 de