Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
ESD Verhalten (DIN EN 61340-5-1)
| Ableitwiderstand: < x 10E3 Ω | | Urkunde
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(12-10-21)
Urkunde
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(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
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ESD-Verhalten (SEMI E78)
| Empfindlichkeitsschwelle 2018 / 18 nm Empfindlichkeitsschwelle Level 1 | SEMI E78:0309 | / | eingehalten/conform | SEMI E78:0998 | / | eingehalten/conform | | Urkunde
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(12-10-21)
Urkunde
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en
(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Bewegte Achse: 1-6 Kapazität: 40 % Traglast: 3 kg Achse 1: -150 - 150 ° Achse 2: -30 -160 ° Achse 3: -160 - 90 ° Achse 4: -170 - 170 ° Achse 5: -90 - 90 ° Achse 6: -250 - 250 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | US FED 209E | / | US Class 100 | | Urkunde
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(12-10-21)
Urkunde
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(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
Bescheinigung
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(12-10-21)
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Bewegte Achse: 1-6 Kapazität: 80 % Traglast: 3 kg Achse 1: -150 - 150 ° Achse 2: -30 -160 ° Achse 3: -160 - 90 ° Achse 4: -170 - 170 ° Achse 5: -90 - 90 ° Achse 6: -250 - 250 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 6 | US FED 209E | / | US Class 1000 | |