Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| vollständige Bandbreite (Z-Stufe): s = 40 mm grobe Geschwindigkeit/Scangeschwindigkeit (Z-Stufe): 3600/15-30 µm / s vollständige Bandbreite (Piezo elektrische Stufe): s = 200 µm grobe Geschwindigkeit/Scangeschwindigkeit (Piezo elektrische Stufe): 1000/15-30 µm / s MMR Während der Messung verwendetes Mehrfachmessrezept (MMR): • Z Koordinaten (Erster Schritt: 01 - 03): respectively 2 repetitions, changing position at coarse speed after every repetition • Z-Stufe (Zweiter Schritt: Hauptschleifen 01 - 03): respectively 50 repetitions, changing position at coarse speed after every repetition Pumpentyp: VT 4.4 (SN 2652823) Max. Saugvermögen (Pumpe): Q = 4.1 m^3 / h Max. Vakuum (Pumpe): 150 mbar Mikroskop (6,7 Aufnahmen pro Minute, mit Absaugung): ISO Class 1 Controller: ISO Class 6 Computer: ISO Class 5 Bildschirm: ISO Class 2 | ISO 14644-1 | / | ISO Class 6 | | Urkunde
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QLogo
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Bescheinigung
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