TESTED DEVICE®

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Firma

Carl Zeiss Semiconductor Manufacturing Technologies AG
 
Carl-Zeiss-Str. 22
73447 Oberkochen

Kontaktperson

Mr. Dr. Rüdiger Düsing
Telefon +49-7364 20-8364
E-Mail r.duesing@smt.zeiss.com
Webseite www.smt.zeiss.com

Prüfobjekt

Dicronite vs. Edelstahl (X5) vs. Edelstahl (X5)
Materialpaarung CSM II 31
Dicronite (WS2) vs Edelstahl (X5)
Q-Nr. ZE 0702-390
Jahr 2007
Kommentare
Kategorie Reinraumeinrichtung

Untersuchungen und Ergebnisse

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