Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Auslastung: 40 % Traglast: 25 kg Achse 1: 170 bis -170 ° Achse 2: -75.58 bis -83.70 ° Achse 3: 159.7 bis -61.9 ° Achse 4: -195-195 ° Achse 5: 95.4 bis -97 ° Achse 6: -270-270 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | | Urkunde
1
en
(11-12-17)
Urkunde
2
en
(18-10-22)
Urkunde
3
en
(18-10-22)
QLogo
1
en
(18-10-22)
QLogo
2
en
(18-10-22)
Bescheinigung
1
en
(18-10-22)
Bescheinigung
2
en
(18-10-22)
Bescheinigung
3
en
(18-10-22)
|
Auslastung: 80 % Traglast: 25 kg Achse 1: 170 bis -170 ° Achse 2: -75.58 bis -83.70 ° Achse 3: 159.7 bis -61.9 ° Achse 4: -195-195 ° Achse 5: 95.4 bis -97 ° Achse 6: -270-270 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | |
ESD-Verhalten (SEMI E78)
| Empfindlichkeitsschwelle; Year node: 2006 / 70 nm Empfindlichkeitsschwelle; Limit value 80 V/cm Test result; Measuring value: 43 V/cm Test result; Maximum single: 156 V/cm | | Urkunde
1
en
(18-10-22)
QLogo
1
en
(18-10-22)
QLogo
2
en
(18-10-22)
Bescheinigung
1
en
(18-10-22)
|
ESD Verhalten (DIN EN 61340-5-1)
| Operating voltage: 10 V Resistance measured: < 2 x 10⁵ Ω | Compliance with limit valueas per DIN EN 61340-5-1: | / | fulfilled | | Urkunde
1
en
(18-10-22)
QLogo
1
en
(18-10-22)
QLogo
2
en
(18-10-22)
Bescheinigung
1
en
(18-10-22)
|