| Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| vollständige Bandbreite (Z-Stufe): s = 40 mm
grobe Geschwindigkeit/Scangeschwindigkeit (Z-Stufe): 3600/15-30 µm / s
vollständige Bandbreite (Piezo elektrische Stufe): s = 200 µm
grobe Geschwindigkeit/Scangeschwindigkeit (Piezo elektrische Stufe): 1000/15-30 µm / s
MMR Während der Messung verwendetes Mehrfachmessrezept (MMR):
• Z Koordinaten (Erster Schritt: 01 - 03): respectively 2 repetitions, changing position at coarse speed after every repetition
• Z-Stufe (Zweiter Schritt: Hauptschleifen 01 - 03): respectively 50 repetitions, changing position at coarse speed after every repetition
Pumpentyp: VT 4.4 (SN 2652823)
Max. Saugvermögen (Pumpe): Q = 4.1 m^3 / h
Max. Vakuum (Pumpe): 150 mbar
Mikroskop (6,7 Aufnahmen pro Minute, mit Absaugung): ISO Class 1
Controller: ISO Class 6
Computer: ISO Class 5
Bildschirm: ISO Class 2
| | ISO 14644-1 | / | ISO Class 6 | | Urkunde
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QLogo
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QLogo
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Bescheinigung
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