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Theta-Z-Tisch mit 100 µm Piezo / M-900K060
Firma
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Roemerstrasse 1
76228 Karlsruhe
Kontaktperson
Mr. Steffen Arnold
Telefon
+49-721-48-46-235
E-Mail
S.Arnold@pi.ws
Webseite
www.physikinstrumente.de
Prüfobjekt
Theta-Z-Tisch mit 100 µm Piezo
M-900K060
Q-Nr.
PI 0208-267
Jahr
2002
Kommentare
Kategorie
Transfersysteme und Lager
Untersuchungen und Ergebnisse
Art der Untersuchung
Parameter
Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse
Dokumente
(Gültig bis)
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
program specified by customer
DIN EN ISO 14644-1
/
ISO Class 5
US FED 209E
/
US Class 100
/
Urkunde 1 de
Bescheinigung 1 de