Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Schlitten vertical beladen | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | US FED 209E | / | US Class 100 | | / | | | Bescheinigung
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Schlitten horizontal belastet | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | US FED 209E | / | US Class 100 | | / | | | Bescheinigung
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Schlitten vertical unbelastet | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | US FED 209E | / | US Class 100 | | / | | | Bescheinigung
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Partikelemission (VDI 2083 Blatt 9.1)
| Schlitten horizontal nicht beladen | DIN EN ISO 14644-1 | / | ISO Class 5 | US FED 209E | / | US Class 100 | | / | | | Bescheinigung
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