Art der Untersuchung | Parameter | Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse | Dokumente (Gültig bis) |
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Auslastung: 40 % Traglast: 7 kg Achse 1: -170 - 170 ° Achse 2: -90 - 90 ° Achse 3: -90 - 90 ° Achse 4: -120 - 120 ° Achse 5: -170 - 170 ° Achse 6: -120 - 120 ° Achse 7: -175 - 175 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 2 | | Urkunde
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Auslastung: 80 % Traglast: 7 kg Achse 1: -170 - 170 ° Achse 2: -90 - 90 ° Achse 3: -90 - 90 ° Achse 4: -120 - 120 ° Achse 5: -170 - 170 ° Achse 6: -120 - 120 ° Achse 7: -175 - 175 ° | ISO 14644-1 | / | ISO Class 3 | |
ESD Verhalten (DIN EN 61340-5-1)
| Prüfspannung [V]: 10 gemessener Widerstand [Ω]: < 2 x 10^5 | Erfüllung des Grenzwertsnach DIN EN 61340-5-1: | / | erfüllt | | Urkunde
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ESD-Verhalten (SEMI E78)
| Jahr: 2009 Entwicklungsstufe: 50 nm Grenzwert [V/cm]: 55 Mittelwert [V/cm]: 45 max. Einzelmessung [V/cm]: 110 Grenzwert: erfüllt | | Urkunde
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