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Firma

ASM AS GmbH & Co.KG
 
Rupert-Mayer-Straße 44
81379 München

Kontaktperson

Werner Pfaffenberger
Telefon +49 (0) 89 20800-40914
E-Mail werner.pfaffenberger@asmpt.com
Webseite

Prüfobjekt

SIPLACE Wafer System
Gewicht 3674kg
Artikelnummer 519781
Q-Nr. AS 1903-1104
Jahr 2019
Kommentare Herstellungsdatum 2017
Kategorie Wafer­handhabung

Untersuchungen und Ergebnisse

Art der Untersuchung Parameter Beurteilungsgrundlage / Ergebnisse Dokumente
(Gültig bis)
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) Air Cleanliness Class 7
Maximale Geschwindigkeit x-Achse 2,5 m/s
Maximale Geschwindigkeit y-Achse 2,5 m/s
Maximale Beschleunigung x-Achse 40,0 m/s2
Maximale Beschleunigung y-Achse 30 m/s2
Theoretische Bestückleistung 78640 BE/h
Vakuumpumpe active
Venturi Betrieb active
Urkunde 1 en
(01-08-24)
Urkunde 1 de
(01-08-24)
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(01-08-24)
QLogo 2 en
(01-08-24)
Bescheinigung 1 en
(01-08-24)
Bescheinigung 1 de
(01-08-24)