TESTED DEVICE®

Report Nr.downup Herstellerdownup Produktnamedownup Art der Untersuchung (Ergebnis)downup
IN 2211-1364 INFICON GmbH UL6000 Fab – Mobiles Vakuumdichtheitsprüfgerät
Herstellungsdatum: 10/2022
Farbe: Hellgrau / Blau 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 6)
IN 2211-1364 INFICON GmbH UL6000 Fab Plus – Mobiles Vakuumdichtheitsprüfgerät
Herstellungsdatum: 10/2022
Farbe: Hellgrau / Blau 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 5)
EL 2211-1363 eltherm production GmbH ELPH-Cleanroom ID 40 mm
Herstellungsdatum: KW 41/2022
Farbe: Grau 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 4)
EL 2211-1363 eltherm production GmbH ELPH-Cleanroom ID 100 mm
Herstellungsdatum: KW 41/2022
Farbe: Grau 		Ausgasung (VDI 2083 Blatt 17)
Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 2)
BA 2303-1405 Barkey GmbH & Co. KG Barkey S-line C&G
Herstellungsdatum: 8/2/2023
Chargennummer: 10693 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 1)
BA 2303-1405 Barkey GmbH & Co. KG Barkey plasmatherm C&G
Herstellungsdatum: 15/2/2023
Chargennnummer: 00010339R2 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 7)
BA 2303-1405 Barkey GmbH & Co. KG Barkey warming center C&G
Herstellungsdatum: 7/2/2023
Chargennummer: 10692 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 7)
AS 2312-1480 ASMPT SMT UK Ltd TQ Galaxy
Herstellungsdatum: 10/2023
Materialnummer: 613110 		Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14) (ISO Klasse 6)
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*Auszug aus VDI 2083 Blatt 9.1: "Die Reinraumtauglichkeit beurteilt die Tauglichkeit eines Betriebsmittels für seinen Einsatz in Reinräumen, die nach einem Regelwerk zur Beurteilung der Luftreinheit spezifiziert sind (z.B. ISO 14644-1). Im Sinne dieser Richtlinie wird die Partikelemission zur Klassifizierung benutzt.

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Tauglich für Einsatz in Reinraumbereichen der Luftreinheitsklasse ... nach ISO 14644-1*

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