Partikelemission (ISO 14644 Blatt 14)
| Frequenz (Sinusschwingung): 50 Hz Schwingungsgeschwindigkeit: 0,0082 mm/s² Schwingungsbeschleunigung: 0,0034 m/s² Auslenkung des Systems: 0,000 mm | ISO 14644-1 | / | ISO Class 1 | | Urkunde
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Expertise
| GMP-Konformität EHEDG-Konformität conformity with design recommendations | Kommentar: | / | Die Angabe gilt jedoch nur für die bewerteten Betriebsmittel im Ruhezustand und bedarf nach dem Einbau einer Gesamtbetrachtung der Fertigungsumgebung. | EU GMP Vol.4, Ann.1 | / | EU GMP Class Uneingeschränkt bis GMP Klasse C | EHEDG Doc. 8 | / | | DIN EN 1672-2 | / | | ISO 14159 | / | | | Urkunde
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